Профилометр поверхности большой площади с 3D оптическим измерением представляет собой высокопроизводительную систему трехмерной оптической метрологии, предназначенную для измерения топографии поверхности на больших площадях. Он сочетает высокоскоростное сканирование, несколько технологий визуализации и сверхвысокое вертикальное разрешение, обеспечивая точные и воспроизводимые 3D-данные поверхности для широкого диапазона размеров образцов и типов материалов. Интеграция шести методов визуализации и анализа на одной платформе позволяет проводить наноуровневую характеристику поверхности при сохранении высокой эффективности и гибкости измерений.
Области применения
Профилометр подходит для анализа морфологии поверхности и оценки размеров различных материалов и компонентов, включая, но не ограничиваясь:
(1) Полупроводниковые пластины и микроэлектронные устройства
(2) Тонкие пленки и оптические покрытия
(3) Прецизионные механические компоненты
(4) Функциональные поверхности с большими углами наклона или низкой отражательной способностью
(5) Прозрачные или многослойные материалы
(6) Микро- и наноструктурированные поверхности
Типичные объекты испытаний включают пластины, устройства, тонкие пленки, покрытые компоненты и прецизионные сборки, требующие измерений поверхности на большой площади с высоким разрешением.
Стандарты
(1) ISO 25178 (Текстура поверхности: площадные параметры)
(2) ISO 4287 / ISO 4288 (Параметры шероховатости и методы оценки)
(3) ISO 16610 (Фильтрация текстуры поверхности)
(4) Стандарты ISO для оптических измерений поверхности и оформления отчетности
Параметры
| Параметр | Спецификация |
|---|---|
| Скорость съемки | Высокоскоростная камера до 200 FPS |
| Разрешение по оси Z | Субнанометровое разрешение, не зависит от увеличения объектива или диапазона сканирования |
| Технологии визуализации | Интерферометрия белого света, конфокальная, спектральное измерение толщины пленок, светлое поле, темное поле, масштабируемая визуализация, АСМ |
| Платформа XY | Модульная прецизионная платформа, настраиваемая до 300 × 300 мм |
| Совместимость образцов | Пластины, устройства, тонкие пленки, компоненты, образцы большой площади |
| Программное обеспечение | Соответствующее ISO ПО с автоматическими измерениями и формированием отчетов |
Особенности
(1) Интегрированная платформа визуализации и анализа «шесть в одном»
(2) Высокоскоростная камера для быстрого получения данных поверхности
(3) Субнанометровое вертикальное разрешение для точного измерения высоты
(4) Модульная и масштабируемая архитектура для образцов большой площади
(5) Высокоточное конфокальное сканирование с вращающимся диском для быстрого захвата областей
(6) Физическое подавление рассеянного света для повышения контрастности и точности
(7) Современное программное обеспечение для автоматического анализа и формирования стандартных отчетов
Аксессуары
(1) Прецизионная модульная платформа XY (до 300 × 300 мм)
(2) Высокоскоростная камера
(3) Конфокальный сканирующий модуль
(4) Модуль интерферометрии белого света
(5) Модуль измерения толщины тонких пленок
(6) Модуль измерения АСМ
Процедуры испытаний
(1) Закрепите образец на прецизионной платформе XY в соответствии с его размером и геометрией
(2) Выберите подходящий режим визуализации в зависимости от характеристик поверхности, например конфокальный, интерферометрия белого света или темное поле
(3) Настройте параметры сканирования, включая область, разрешение и скорость получения данных, через программное обеспечение
(4) Выполните сканирование поверхности с использованием выбранной технологии
(5) Обработайте полученные данные с помощью автоматизированных инструментов анализа для извлечения информации о морфологии, шероховатости или толщине
(6) Сформируйте стандартизированные отчеты непосредственно в программном обеспечении
Информация по обслуживанию
(1) Поддерживайте чистоту оптических компонентов для обеспечения точности измерений и качества изображения
(2) Периодически проверяйте платформу XY и систему перемещения для обеспечения плавной работы
(3) Убедитесь, что система работает в заданных условиях окружающей среды
(4) Регулярно выполняйте обновление программного обеспечения и калибровку для соответствия стандартам измерений
Часто задаваемые вопросы
1. Почему профилометр подходит для измерения больших образцов?
Система построена на модульной платформе с прецизионной XY-платформой, настраиваемой до 300 × 300 мм. Это позволяет выполнять стабильные и точные измерения образцов большой площади, таких как пластины, устройства и сборочные компоненты. Высокоскоростное сканирование и автоматизированный анализ обеспечивают сохранение эффективности и согласованности данных при увеличении области измерения.
2. Как конфигурация «шесть в одном» улучшает возможности измерения?
Интеграция интерферометрии белого света, конфокальной визуализации, спектрального измерения толщины пленок, светлого и темного поля, масштабируемой визуализации и АСМ на одной платформе позволяет работать с различными типами поверхностей. Гладкие, шероховатые, прозрачные, с низкой отражательной способностью и многослойные образцы могут измеряться с использованием соответствующих методов, обеспечивая наноуровневое разрешение без смены оборудования.
3. Почему конфокальное сканирование с вращающимся диском быстрее традиционного?
Конфокальное сканирование с вращающимся диском использует множество отверстий одновременно, что позволяет выполнять полноэкранное сканирование вместо точечного. Это устраняет необходимость перемещения XY-платформы или сканирующих зеркал для каждой точки, значительно увеличивая скорость измерений. Одновременно происходит физическое подавление рассеянного света, что снижает шум и повышает разрешение, особенно для прозрачных или наклонных поверхностей.
4. Какие преимущества дает интерферометрия белого света?
Интерферометрия белого света обеспечивает наивысшее разрешение по оси Z среди оптических методов измерения поверхности. Фазосдвиговое сканирование подходит для гладких поверхностей, а белый свет эффективен для шероховатых. В сочетании с высокоскоростной камерой до 200 кадров в секунду система может формировать полные 3D-данные поверхности примерно за одну секунду.
