Продвинутый 3D оптический профилометр поверхности представляет собой высококлассную систему трехмерного измерения поверхности, предназначенную для точной и эффективной характеристики топографии поверхности. Благодаря высокоскоростному сканированию, сверхвысокому вертикальному разрешению и интеграции нескольких оптических режимов, система обеспечивает универсальные решения для анализа поверхности широкого спектра материалов и применений. Объединяя передовые оптические технологии на одной платформе, система обеспечивает надежные, воспроизводимые и высокоточные 3D-измерения поверхности.
Области применения
Продвинутый 3D оптический профилометр подходит для комплексной характеристики поверхности материалов с различными оптическими свойствами, уровнями шероховатости и геометрией.
Типичные области применения и объекты испытаний включают:
(1) Аэрокосмические компоненты: функциональные покрытия, прецизионные детали, контроль поверхностных дефектов
(2) Автомобильные материалы: покрытые детали, металлические поверхности, анализ износа
(3) Биомедицинские материалы: морфология поверхности биосовместимых материалов и покрытий
(4) Оптические и стеклянные изделия: линзы, стеклянные панели, прозрачные и отражающие поверхности
(5) Полупроводниковая и дисплейная промышленность: тонкие пленки, подложки, защитные покрытия
(6) Полимерные и лакокрасочные материалы: шероховатость, дефекты и анализ толщины
(7) Фармацевтическая продукция: покрытые таблетки и функциональные поверхности
Стандарты
(1) ISO 25178 — Геометрические характеристики изделий (GPS): текстура поверхности (площадные параметры)
(2) ISO 4287 — Текстура поверхности: профильный метод — термины, определения и параметры
(3) ISO 16610 — Фильтрация данных текстуры поверхности
(4) ISO 5436 — Эталоны измерения шероховатости поверхности
Параметры
| Параметр | Спецификация |
|---|---|
| Скорость камеры | До 200 FPS |
| Вертикальное разрешение (Z) | Субнанометровое, не зависит от увеличения объектива или диапазона сканирования |
| Режимы визуализации | Конфокальный, интерферометрия белого света, светлое поле, темное поле, масштабируемая визуализация |
| Платформа XY | Полностью автоматизированная моторизованная платформа XY |
| Выравнивание образца | Регулируемая наклонная платформа |
| Возможности сканирования | Сканирование больших площадей с автоматической сшивкой изображений |
Особенности
(1) Интеграция многорежимных оптических измерений на одной платформе
(2) Высокоскоростная съемка благодаря специализированным камерам
(3) Субнанометровое вертикальное разрешение для точного измерения высоты
(4) Открытая архитектура системы для гибкой работы с образцами
(5) Автоматическая XY-платформа и регулировка наклона для точного позиционирования
(6) Поддержка сканирования больших площадей и автоматической сшивки изображений
(7) Высокое качество изображения благодаря оптимизированным оптическим трактам
Аксессуары
(1) Моторизованная автоматическая платформа XY
(2) Регулируемая наклонная платформа для образцов
(3) Модуль светодиодного освещения с несколькими длинами волн
(4) Модуль измерения толщины пленок (на основе спектральной отражательной способности)
(5) Модуль атомно-силовой микроскопии (AFM)
(6) Специализированное программное обеспечение для анализа и формирования отчетов
Процедуры испытаний
(1) Установите образец на платформу и при необходимости отрегулируйте наклон
(2) Выберите режим визуализации в зависимости от материала и состояния поверхности (конфокальный, интерферометрия белого света, светлое поле, темное поле или масштабируемый режим)
(3) Задайте параметры сканирования, включая область, разрешение и скорость
(4) Выполните автоматическое сканирование поверхности с использованием моторизованной XY-платформы
(5) Получите трехмерные данные поверхности и при необходимости используйте автоматическую сшивку для больших областей
(6) Проанализируйте морфологию, шероховатость, дефекты или толщину с помощью встроенного ПО и сформируйте отчет
Информация по обслуживанию
(1) Поддерживайте чистоту оптических компонентов для сохранения качества изображения
(2) Периодически проверяйте систему освещения и работу камеры
(3) Убедитесь в плавной работе и калибровке XY-платформы и наклонного стола
(4) Храните систему в чистой среде без вибраций при неиспользовании
(5) Выполняйте регулярные обновления программного обеспечения и проверки системы согласно рекомендациям
Часто задаваемые вопросы
1. Какие режимы визуализации интегрированы в систему?
Система объединяет несколько режимов визуализации на одной платформе, включая конфокальную микроскопию, интерферометрию белого света, светлое и темное поле, а также масштабируемую визуализацию. Такая конфигурация позволяет адаптироваться к различным типам поверхностей — гладким, шероховатым, прозрачным или с низкой отражательной способностью — и получать точные трехмерные данные без смены оборудования.
2. Как достигается высокая скорость и высокое разрешение одновременно?
Система использует высокоскоростные камеры и оптимизированные оптические тракты для каждого режима визуализации. Каждая технология оснащена собственной камерой, а не использует общий оптический путь, что значительно повышает качество изображения при сохранении скорости сканирования до 200 FPS. При этом субнанометровое разрешение по оси Z не зависит от увеличения или диапазона сканирования, обеспечивая стабильные и воспроизводимые измерения.
3. Какие преимущества дает конфокальная технология с вращающимся диском?
Технология конфокального сканирования с вращающимся диском использует множество отверстий, расположенных по спирали, что позволяет одновременно сканировать всю область изображения. В отличие от традиционных систем с одной апертурой, не требуется механическое перемещение зеркал или XY-платформы для каждой точки. Это значительно увеличивает скорость сканирования при сохранении высокого разрешения и снижает шум за счет подавления рассеянного света.
4. Можно ли измерять образцы большой площади?
Да. Система оснащена полностью автоматизированной высокоточной XY-платформой, позволяющей выполнять сканирование крупных образцов. Поддерживается автоматическая сшивка изображений, что позволяет объединять несколько областей сканирования в единую непрерывную трехмерную карту поверхности. Это особенно важно для анализа крупных компонентов и образцов, требующих полной оценки поверхности.
