Белый световой интерферометр — это бесконтактная оптическая система измерения поверхности, предназначенная для высокоточного анализа шероховатости поверхности, высоты ступенек, толщины тонких пленок и трехмерной топографии поверхности. Система обладает субнанометровым вертикальным разрешением, полностью автоматизированным прецизионным столом и сочетает белую световую интерферометрию с фазосдвиговой интерферометрией, обеспечивая точное и надежное измерение поверхности для широкого спектра материалов. Экономически эффективная конструкция и простота эксплуатации делают систему подходящей как для научных исследований, так и для промышленного контроля качества.
Области применения
Белый световой интерферометр широко используется для бесконтактного измерения поверхностной топографии и размеров в различных отраслях и для разных материалов.
Типичные области применения и объекты испытаний включают:
(1) Аэрокосмические компоненты: измерение шероховатости поверхности и высоты ступенек
(2) Автомобильные детали: анализ покрытых поверхностей и прецизионно обработанных компонентов
(3) Биомедицинские материалы: исследование морфологии биосовместимых материалов и покрытий
(4) Оптические и стеклянные изделия: линзы, стеклянные подложки, прозрачные материалы
(5) Полупроводниковая промышленность: тонкие пленки, пластины и микроструктурированные поверхности
(6) Полимерные и покрывные материалы: анализ толщины пленок и текстуры поверхности
(7) Фармацевтическая продукция: покрытые таблетки и функциональные поверхности
(8) Дисплейные панели: контроль плоскостности и микротопографии поверхности
Стандарты
(1) ISO 25178 — Геометрические характеристики изделий (GPS): текстура поверхности (площадные параметры)
(2) ISO 4287 — Текстура поверхности: профильный метод — термины, определения и параметры
(3) ISO 5436 — Стандарты измерения шероховатости поверхности
(4) ISO 16610 — Фильтрация данных текстуры поверхности
Параметры
| Параметр | Спецификация |
|---|---|
| Метод измерения | Белая световая интерферометрия (WLI) |
| Вертикальное разрешение | Субнанометровое |
| Режим измерения | Бесконтактный оптический |
| Источник света | Четырехдиапазонный LED (красный, зеленый, синий, белый) |
| Возможности визуализации | 2D и 3D топография поверхности |
| Тип стола | Полностью автоматический прецизионный стол |
| Функция сшивки | Автоматическая сшивка больших областей |
| Тип микроскопа | Полностью автоматизированный оптический микроскоп |
Особенности
(1) Бесконтактное высокоточное измерение топографии поверхности
(2) Субнанометровое вертикальное разрешение для точного анализа высоты и шероховатости
(3) Комбинация белой световой интерферометрии и фазосдвиговой интерферометрии (PSI)
(4) Четырехдиапазонная LED-подсветка для различных режимов измерения
(5) Полностью автоматизированный оптический микроскоп с простым управлением
(6) Автоматическое сканирование и сшивка изображений больших областей
(7) Экономичное решение с высокой точностью измерений
Аксессуары
(1) Полностью автоматический прецизионный XY-стол
(2) Модуль четырехдиапазонной LED-подсветки (красный, зеленый, синий, белый)
(3) Оптическая система с увеличением (zoom)
(4) Модуль фазосдвиговой интерферометрии
(5) Программное обеспечение для анализа поверхности и отчетности
Процедуры испытаний
(1) Установите образец на прецизионный стол и надежно закрепите его
(2) Выберите режим измерения: белая световая интерферометрия или фазосдвиговая интерферометрия
(3) Настройте оптическое увеличение и фокусировку в зависимости от образца
(4) Запустите автоматическое сканирование для бесконтактного сбора данных поверхности
(5) При необходимости включите автоматическую сшивку больших областей
(6) Проведите анализ шероховатости, высоты ступенек, толщины пленок и 3D топографии с помощью программного обеспечения
Информация по обслуживанию
(1) Поддерживайте оптические компоненты в чистоте для стабильной точности измерений
(2) Периодически проверяйте калибровку прецизионного стола
(3) Убедитесь в корректной работе LED-подсветки всех диапазонов
(4) Храните прибор в чистой и виброизолированной среде
(5) Выполняйте регулярные проверки системы для обеспечения долговременной надежности
Часто задаваемые вопросы
1. Какие виды измерений выполняет белый световой интерферометр?
Белый световой интерферометр предназначен для измерения шероховатости поверхности, высоты ступенек, толщины тонких пленок и трехмерной топографии поверхности. Бесконтактная оптическая технология позволяет получать 2D и 3D изображения с субнанометровым вертикальным разрешением, что делает систему подходящей для анализа металлов, покрытий, полимеров, стекла и полупроводников без повреждения поверхности.
2. Чем отличается белая световая интерферометрия от контактных методов?
Белая световая интерферометрия является бесконтактным методом, поэтому не вызывает повреждений или деформации поверхности. Она обеспечивает более высокое вертикальное разрешение, быструю сборку данных и возможность получения полной трехмерной карты поверхности. По сравнению с контактными методами она обладает лучшей повторяемостью и скоростью измерений.
3. Какую роль играет фазосдвиговая интерферометрия (PSI)?
Фазосдвиговая интерферометрия используется для повышения точности измерений гладких поверхностей. За счет контролируемого сдвига фазы можно точно вычислять изменения высоты поверхности. В сочетании с белой световой интерферометрией система подходит как для гладких, так и для более шероховатых поверхностей.
4. Можно ли измерять крупные образцы?
Да. Система оснащена полностью автоматическим прецизионным столом и поддерживает автоматическую сшивку изображений. Это позволяет объединять несколько областей сканирования в одно непрерывное трехмерное изображение, обеспечивая эффективное измерение больших образцов с высокой точностью.
